Серия Xstream

до 8000 / 10000 Вт, высокая эффективность, оптимизация процеcсов
  • Мощность: 1000 - 8000 Вт, 1000 - 10000 Вт
  • Зажигание разряда: 0,1 - 5 мбар, Ar <1 ст. л/мин
  • Химическая совместимость: Ar, O2, H2, N2, F2, H2O, NF3, CI, NH3CxFy
  • Номинальный входной ток: 27 А / 30 А
  • Максимальный входной ток: 31 А / 35 А
  • Напряжение питания: 200/208 В 3AC
  • Ток срабатывания выключателя: 20 А (LB-3001), 25 А (LB-4001)
  • Охлаждение: водное
  • Диапазон рабочих температур: от +5 до +40 °C
  • Интерфейсы: аналоговый (25-контактный разъем), цифровой (RS-232)

Удаленные источники плазмы Серия Xstream

Удаленные плазменные источники Advanced Energy серии Xstream предназначены для генерации нейтральных, реактивных форм из стабильных газов для процессов обработки различных поверхностей, очистки камеры, тонкопленочного травления, плазменного осаждения. Они имеют высокоэффективный источник питания двух номиналов мощности, запатентованную технологию согласующих схем для поддержки широкого диапазона рабочего импеданса. Высокая пропускная способность, усовершенствованная система контроля, оптимизация использования ресурсов.Данная линейка работает с широким спектром химических веществ, для генерации плазмы используется среднечастотная энергия. Опциональный виртуальный интерфейс позволяет в режиме реального времени осуществлять настройку и мониторинг процессов. Для поддержания допустимых пределов рабочих температур используется водная система охлаждения, низкое потребление ресурсов.