Серия Rapid OX

до 6000 Вт, для кислородных процессов, съемная камера
  • Диапазон радиочастот: 250 - 665 кГц
  • Мощность: 500 - 6000 Вт
  • Зажигание: 0,1 - 1 мм рт. ст. кислород и азот до 4 стандарт.л/м (90% O2 и 10% N2)
  • Химическая совместимость: Ar, O2, H2, N2, F2, H2O, NF3 или O2:CxFy
  • Расход: 0,2 - 4 стандарт л/м (O2), 0,1 - 4 мм рт. ст. (0,9 х O2+ 0,1 х N2)
  • Точность: ±5% или 200 Вт
  • Максимальное плазменное напряжение: 325 В
  • Минимальный ток плазмы: 5 А
  • Максимальный первичный ток: 120 А
  • Интерфейсы: аналоговый (25-контактный разъем), цифровой (RS-232)

Удаленные источники плазмы Серия Rapid OX

Удаленные плазменные источники Advanced Energy серии Rapid OX отличное предложение для работы с кислородными технологическими процессами, которое обеспечивает эффективную подачу активных веществ в рабочую камеру, снижая при этом реакции рекомбинации атомов кислорода. Максимальная мощностью до 6 кВт, оптимальная настройка производительности с переменной частотой и точным контролем силовых параметров. Популярное предложение для использования в полупроводниковой промышленности, производстве электроники, солнечной фотоэлектрической энергетике.Конструкция имеет съемный кварцевый вкладыш для быстрого обслуживания и замены камеры, что снижает эксплуатационные расходы и время простоя. Высокая надежность построения, эффективная система охлаждения и долгий срок службы. Отличные показатели быстродействия, высокая скорость процессов и мониторинг тепловых характеристик.