MAXstream 300

0,3 - 6 кВт, высокопроизводительные, компактные и надежные
  • Диапазон мощности: 300 - 6000 Вт
  • Зажигание разряда: 0,1 - 5 мбар до 2 л/мин Ar, <1 % для NF3
  • Погрешность: ±2 % или 15 Вт
  • Химическая совместимость: Ar, O2, H2, N2, F2, H2O, NF3, CI или NH3CxFy
  • Параметры травления NF3: поток 3 л/мин при давлении 13 мбар
  • Эффективность диссоциации NF3: не менее 98%
  • Напряжение питания: 187 - 229 В 3AC
  • Ток питания: не более 24 А
  • Охлаждение: водное +5 … +35 °C, расход 6,8 л/мин
  • Диапазон рабочих температур: +5 … +40 °C

Серия MAXstream MAXstream 300

Удаленные источники плазмы Advanced Energy MAXstream используются для подачи активных газов для плазменной очистки камер, процессов реактивного травления и процессов реактивного осаждения. Очень экономичное предложение с низким  расходом. Отличные показатели производительности и стабильности ведения процессов, высочайшая точность измерительных компонентов для контроля силовых параметров. Компактная конструкция для рационального использования рабочего пространства, данные модели имеют габариты меньше чем их предшественник Xstream RPS. Запатентованная алюминиевая подложка с анодированием типа III обеспечивает долгий срок службы камеры. Улучшенная система плазменного зажигания для беспрецедентной надежности. Широкий выбор совместимых газов, простота интеграции в существующие системы.



Купить и заказать Серия MAXstream - MAXstream 300 от официального партнёра в России и странах ТС