Серия MAXstream

до 12000 Вт, высокопроизводительные, компактные и надежные
  • Диапазон мощности: 300 - 6000 Вт / 500 - 8000 Вт / 500 - 9000 Вт / 500 - 10000 Вт / 500 - 12000 Вт
  • Зажигание разряда: 0,1 - 5 мбар, до 1 - 2 л/мин Ar
  • Погрешность: ±2 % или 15 Вт
  • Химическая совместимость: Ar, O2, H2, N2, F2, H2O, NF3, CI или NH3CxFy / O2:CxFy
  • Параметры травления NF3: 3 л/мин при 13 мбар / до 6 л/мин при 20 мбар / до 8 л/мин при 27 мбар / до 10 л/мин при 33 мбар / до 12 л/мин при 40 мбар
  • Эффективность диссоциации NF3 : не менее 96%
  • Напряжение питания: 200 - 208 В 3AC
  • Ток питания: не более 35 А
  • Охлаждение: водное (до +30 °C, расход 9 л/мин)
  • Диапазон рабочих температур: +5 … +40 °C

Удаленные источники плазмы Серия MAXstream

Удаленные источники плазмы Advanced Energy MAXstream используются для подачи активных газов для плазменной очистки камер, процессов реактивного травления и процессов реактивного осаждения. Очень экономичное предложение с низким (MAXstream 300) и средним (MAXstream 600/800/1000/1200) расходом. Отличные показатели производительности и стабильности ведения процессов, высочайшая точность измерительных компонентов для контроля силовых параметров.

Компактная конструкция для рационального использования рабочего пространства, данные модели имеют габариты меньше чем их предшественник Xstream RPS. Запатентованная алюминиевая подложка с анодированием типа III обеспечивает долгий срок службы камеры. Улучшенная система плазменного зажигания для беспрецедентной надежности. Широкий выбор совместимых газов, простота интеграции в существующие системы.

Наимаенование
Описание
Цена
Заказать