Серия Litmas RPS

до 504 / 1008 Вт, высокая удельная мощность, экономичное решение
  • Диапазон радиочастот: 1,7-3 МГц
  • Мощность: 100 - 3000 Вт (LB-3001), 100 - 4000 Вт (LB-4001)
  • Напряжение питания: 208 В 3AC
  • Ток срабатывания выключателя: 20 А (LB-3001), 25 А (LB-4001)
  • Входное напряжение: 85 - 264 В AC
  • Входной ток: 16 А (LB-3001), 20 А (LB-4001)
  • Охлаждение: водное
  • Диапазон рабочих температур: от +5 до +40 °C
  • Интерфейсы: аналоговый (25-контактный разъем), цифровой (RS-232)

Удаленные источники плазмы Серия Litmas RPS

Удаленные плазменные источники Advanced Energy серии Litmas RPS обладают высокой производительностью, компактными размерами и позволяют эффективно бороться с вредными для окружающей среды фтористыми соединениями (PFC). Данные установки очень экономичны и просты и в использовании. Они активно применяются в полупроводниковой промышленности, для обработки поверхностей, снижения выбросов парниковых газов, плазменной очистки от загрязнений углеродами, травления различных материалов.Данная линейка использует запатентованную технологию подачи питания LitmasMatch, конструкция объединяет в одном блоке источник питания, плазменную камеру и согласующие схемы. Выпускается в двух размерностях с различными силовыми данными. Прочная и надежная конструкция, низкие затраты на облуживание. Аналоговое и цифровое соединение для управления процессами, по запросу доступен к заказу графический компьютерный интерфейс для работы в реальном времени (настройка, контроль, исправление неисправностей, сбор данных).