Серия Navigator II

1 - 30 кВт, диапазон РЧ 0,4 - 400 МГц, для плазмогенераторов
  • Выходная мощность: 1-30 кВт
  • Частота: 0,4-400 МГц

Согласующие РЧ-системы Серия Navigator II

Цифровые радиочастотные системы Advanced Energy серии Navigator II предназначены для работы с плазменными генераторами и служат для оптимизации взаимодействия компонентов установки и измерения мощности высоких частот в режиме реального времени. Применение современных технологий и усовершенствованных алгоритмов для повышения производительности, ускорения времени настройки и уровня быстродействия, обеспечения строгого контроля технологических параметров работы, повышения стабильности процессов и улучшения качества конечных продуктов.Система очень устойчива к интермодуляционным искажениям. Инновационный РЧ-датчик Z'Scan II для анализа мощности и импеданса заказывается опционально, данная функция позволит в кратчайшие сроки оценить текущее состояние работы, снизить вероятность неполадок и ошибок. Также доступно к заказу дополнительное программное обеспечение Virtual Front Panel (VFP) для удобства организации управления через компьютер.Отличное предложение для применения в полупроводниковой промышленности, производстве электроники, МЭМС-технологий, солнечных фотоэлектрических систем и создании широкого спектра других промышленных покрытий.