Серия Paramount Plus

3 - 15 кВт, многофункциональные, надежные и эффективные в работе
  • Выходная мощность: 3-15 кВт
  • Напряжение питания: 200/400 В 3AC
  • Частота: 0,4-60 МГц
  • Точность настройки мощности: 1 Вт или ± 1 % от заданного значения
  • Импульсный режим: 5-10000 Гц
  • Охлаждение: воздушное, водное
  • Диапазон температур: +5...+40°C
  • Интерфейсы: RS-232, аналоговый, Ethernet, DeviceNet, EtherCAT

Радиочастотные источники питания Серия Paramount Plus

Цифровые радиочастотные плазмогенераторы Advanced Energy серии Paramount Plus заключает в себе широчайший функционал для ведения высококачественного процесса плазменной обработки (осаждение, распыление, травление, очистка), большой диапазон частот и силовых параметров. Выдающиеся показатели стабильности, воспроизводимости, точности настройки и быстродействия. Измерение мощности и импенданса происходит в режиме реального времени, многоуровневая технология пульсации, контроль формы волны импульса, улучшенная система сбора данных, диагностические функции и другие возможности настройки.Модули данной серии имеют очень компактный дизайн и конструктивно подходят для монтажа в рэковую стойку, встроены ручки для удобства извлечения и перемещения. Светодиодная индикация состояния на передней панели, все коммутационные элементы расположены на тыльной стороне. Для поддержания допустимого уровня тепловой нагрузки используется воздушная и водная система охлаждения. Для взаимодействия с элементами системы и организации удаленной работы встроены несколько типов интерфейсов связи.