Серия Paramount Hfi

3 кВт, цифровое управление, расширенное управление
  • Выходная мощность: 3 кВт
  • Напряжение питания: 208 В AC
  • Частота: 13,56 МГц
  • Охлаждение: водное
  • Диапазон температур: +5...+40°C
  • Интерфейсы: RS-232, аналоговый, Ethernet, EtherCAT

Радиочастотные источники питания Серия Paramount Hfi

Цифровые радиочастотные системы электропитания и контроля плазмы Advanced Energy серии Paramount HFi предназначены для работы в широком диапазоне частот и мощностей, отличные показатели стабильности и воспроизводимости процессов плазменной обработки (распыление, травление, осаждение из газовой фазы). Расширенное управление с регулировкой мощности и импеданса в режиме реального времени, настройка частоты, пульсации и синхронизации импульсов. Быстрый отклик на изменения течения процесса, полный контроль дуги, встроенные переделы обеспечения безопасности ведения работ.Модули данной серии имеют очень компактный дизайн и конструировано подходят для монтажа в рэковую стойку, встроены ручки для удобства извлечения и перемещения. Светодиодная индикация состояния на передней панели, все коммутационные элементы расположены на тыльной стороне. Для поддержания допустимого уровня тепловой нагрузки используется воздушная и водная система охлаждения. Для взаимодействия с элементами системы и организации удаленной работы встроены несколько типов интерфейсов связи.