Серия Paramount

1,5 - 8 кВт, цифровое управление, расширенное управление
  • Выходная мощность: MF -2/3/5/8 кВт, HF - 1,5/2/6 кВт, VHF - 3/6/7 кВт
  • Напряжение питания: 208 В 3AC
  • Частота: MF - 0,4 / 5 МГц, HF - 13,56 МГц, VHF - 27 / 40 / 60 МГц
  • Время отклика: 10-100 мс
  • Точность настройки мощности: 1 - 2 Вт или ± 1 - 2 % от заданного значения
  • Импульсный режим: 10-100000 Гц
  • Охлаждение: воздушное, водное
  • Диапазон температур: +5...+40°C
  • Интерфейсы: RS-232, Ethernet, DeviceNet, Profibus, EtherCAT

Радиочастотные источники питания Серия Paramount

Цифровые радиочастотные системы электропитания и контроля плазмы Advanced Energy серии Paramount MF / HF / VHF предназначены для работы в широком диапазоне частот и мощностей, отличные показатели стабильности и воспроизводимости процессов плазменной обработки (распыление, травление, осаждение из газовой фазы). Расширенное управление с регулировкой мощности и импеданса в режиме реального времени, настройка частоты, пульсации и синхронизации импульсов. Быстрый отклик на изменения течения процесса, полный контроль дуги, встроенные переделы обеспечения безопасности ведения работ.Модули данной серии имеют очень компактный дизайн и конструировано подходят для монтажа в рэковую стойку, встроены ручки для удобства извлечения и перемещения. Светодиодная индикация состояния на передней панели, все коммутационные элементы расположены на тыльной стороне. Для поддержания допустимого уровня тепловой нагрузки используется воздушная и водная система охлаждения. Для взаимодействия с элементами системы и организации удаленной работы встроены несколько типов интерфейсов связи.